F&A

ND filter, vision image 등 기능 비활성 상태에 있습니다. 

​동일 샘플의 측정신호 세기가 바뀌었습니다. 

Unknown peak이 나타납니다. 

​초기화 시 mapping stage 가 멈추지 않습니다.   

Mapping 후 image 가 흐리거나 한쪽으로 치우칩니다. 

광학 이미지가 직사각형으로 보이거나  초기화가 안됩니다.  

광학 이미지가 보이지 않습니다. 

광학 이미지에서  같은 위치에 얼룩이나 입자가 보입니다.

Laser beam shape 이 이상하고 촛점 제어 시 비대칭 변화가 보입니다. 

초기화 시 mapping stage 가 움직이지 않습니다.  

Mapping stage 등 motor 초기화가 되지 않습니다.  

Auto calibration 실패 시 

​자세한 증상 및 사용 장비에 대한 정보를 남겨주세요.

제출해주셔서 감사합니다!