​측정 장치 (Detector)

• TE cooled CCD 측정 장치

• Pixel size

  • 26 x 26㎛​

• Active pixels

  • 1024 x 127​

• BVF (Back illuminated CCD) 또는 FI (Front illuminated CCD) 선택

현미경용 자동 제어 스테이지 (Motorized microscope xyz stage)

• 이동 가능 거리

  • 75 x 52㎜​

• 최소 이동 거리

  • 0.05㎛ (XY), 0.002㎛ (Z)

• 맵핑 속도

  • 50 x 50 pixels < 1min (CCD 노출 시간 0.01s)​

레이저 장치 (Laser Module​)

• 최대 3개의 Laser 선택 가능

  • 325㎚, 488㎚, 514㎚, 532㎚, 785㎚ 등 (요청 시 그 외의 파장도 적용 가능)

• 레이저 출력 조절​

  • ND Filter를 이용하여 단계적 출력 조절 가능

• 레이저 필터

  • ​프로그램을 통해 레이저 필터 자동 선택

분광기 (Spectroscopy)

• 고 출력, 고 성능 수차 보정 분광기 적용

• 교체 가능한 On-axis Grating 적용

• 파장 분해능

  • 1.5㎝-1 per CCD pixel @1800gr/㎜

  • 2.3㎝-1 per CCD pixel @1200gr/㎜ (532㎚ laser)

광학 현미경 (Microscope)

• 대물렌즈

  • 20X Mplan (NA=0.4, WD=1.2㎜)​

  • 100X Mplan (NA=0.9, WD=0.15㎜)​​

  • 공간 해상도 : 1㎛ (XY)​​

• 이미징

  • ​Koehler illuminator를 이용한 균일한 광 조사

  • 3M CMOS 카메라 탑제