헤다 [HEDA]
공초점 라만 시스템
"생각을 헤아리다." ─ 언제나 사용자들을 생각합니다.
특장점
현미경 + 모듈 통합 시스템
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모든 상용 광학 현미경과 호환 가능합니다. (Upright / Inverted)
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현미경을 이용한 형광, Dark field & DIC image 측정
다양한 확장 기능
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저온장치, Probe station 등과 결합하여 다양한 측정이 가능합니다.
상세 사양
측정 장치 (Detector)
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TE cooled CCD 측정 장치
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Pixel size
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26 x 26㎛
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Active pixels
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1024 x 127
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BVF (Back illuminated CCD) 또는 FI (Front illuminated CCD) 선택
현미경용 자동 제어 스테이지 (Motorized microscope xyz stage)
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이동 가능 거리
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75 x 52㎜
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최소 이동 거리
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0.05㎛ (XY), 0.002㎛ (Z)
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맵핑 속도
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50 x 50 pixels < 1min (CCD 노출 시간 0.01s)
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레이저 장치 (Laser Module)
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최대 3개의 Laser 선택 가능
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325㎚, 488㎚, 514㎚, 532㎚, 785㎚ 등 (요청 시 그 외의 파장도 적용 가능)
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레이저 출력 조절
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ND Filter를 이용하여 단계적 출력 조절 가능
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레이저 필터
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프로그램을 통해 레이저 필터 자동 선택
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분광기 (Spectroscopy)
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고 출력, 고 성능 수차 보정 분광기 적용
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교체 가능한 On-axis Grating 적용
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파장 분해능
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1.5㎝-1 per CCD pixel @1800gr/㎜
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2.3㎝-1 per CCD pixel @1200gr/㎜ (532㎚ laser)
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광학 현미경 (Microscope)
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대물렌즈
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20X Mplan (NA=0.4, WD=1.2㎜)
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100X Mplan (NA=0.9, WD=0.15㎜)
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공간 해상도 : 1㎛ (XY)
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이미징
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Koehler illuminator를 이용한 균일한 광 조사
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3M CMOS 카메라 탑제
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