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Ever Cal. Autocalibration for HEDA System

기존 자사 제품의 auto calibration 기능을 강화하여 정확성 및 반복 재현성을 향상시켰습니다.

Grating 변경이나 system on-off 시 항시 동일한 data 를 보증합니다.

Accuracy : 0.02 nm at center & both side on CCD chip / Repeatability : 0.05 nm ( average)

기존 자사 HEDA 장비에 손쉽게 upgrade 가능합니다.



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